Nichtzulassungsbeschwerde – grundsätzliche Bedeutung einer Rechtssache – überlanges Gerichtsverfahren – Entschädigungsklage – Erhebungszeitpunkt der Verzögerungsrüge – Anlass zur Besorgnis der Verfahrensverzögerung – Gewichtung und Würdigung der Einzelfallumstände durch Entschädigungsgericht – erneute Verzögerungsrüge bei weiteren Verzögerungen in der höheren Instanz – Divergenz – Darlegungsanforderungen